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台積電一滴水用3.5次 回收率逾87%
Apr 9th 2015, 07:24

台積電一滴水用3.5次 回收率逾87%

2015-04-09 15:24:46 聯合晚報 記者王彤勻/台北報導

台積電12吋廠廠務處處長莊子壽與台積廢水處理設備合影。 記者王彤勻/攝影

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全台水情持續吃緊,包括新北、桃竹苗都於4月8日正式啟動第三階段限水,經濟部也頻頻拋出要將工業用水大戶的限水幅度從7.5%調高至10%的風向球,讓外界憂心缺水對半導體產業的衝擊。今日台積電(2330)則特別於中科Fab15舉辦水資源管理導覽,秀出在用水、節水方面的成果。台積電12吋廠務處資深處長莊子壽表示,台積每年各廠區在環保投資金額達100億元,各廠區用水的製程回收率已達到87%、新廠區甚至可達90%。

莊子壽指出,台積並不反對限水,也很早就知道台灣有缺水的問題;因此目前台積的立場,就是把水回收做得更好,並節約生產線不必要的用水浪費,同時也開始買水。據了解,台積自今年4月已開始買水。

事實上,相較於全球其他國家的半導體產業,台灣半導體業者已展現高節水效率:據台積統計,台灣半導體業者晶圓單位面積用水量約每平方公分5.74公升,這個數字是美國的三分之一,也是日本的二分之一。台積晶圓單位面積用水量則為每平方公分5.66公升,低於台灣半導體業者平均。

台積電新廠工程處副處長陳鏘澤說明,2013年時台積全台各廠區平均每日自來水用水量約9萬噸;而到了2014年台積總產能增加了10~12%,不過每日平均自來水用水量僅略微成長至9~10萬噸,展現台積在水資源處理的成果。莊子壽指出,台積平均每一滴水,可使用3.5次,意味每天光是回收水的量,就可達每日自來水用水量的2.5倍左右。

中科15廠資深廠長廖永豪說明,台積中科15廠於2010年動土興建、於2012年投產,月產能超過十萬片晶圓。去年該廠區總營收超過2,000億元,占台積27%的營收。

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